1991-8-21 · Transportgase und reaktive Gaze bzw. gasf·ormige Reaktionsprodukte werden von einer Pumpe zu einer Gasentsorgung hin abgesaugt (Pfeil 19), und es wird in der Depositionskammer 14 ein Druck von etwa 1 bis 100 hPa aufrechterhalten, w·ahrend der Druck in der Verdampferkammer 5 bei etwa 100 bis 1000 hPa liegt (Austrittsdruck in der Gasd·use ...